- 硅片硅棒类
- 氧化氮化金属膜
- 光刻胶及相关试剂
- SOI、GOI、SOS
- GaAs，Ge等Ⅲ-Ⅴ族
- 蓝宝石、石英、玻璃
- 晶体、纳米材料
- 电镜、实验室耗材
- 包装材料、样品盒
- 设备、备件及维修
- 芯片、器件
- 微纳加工服务
| |
|
|
· 研磨硅片 · 抛光硅片 · 红外透过硅片 · 本征高阻硅片 · 超薄、超厚硅片 · 外延片 · 切割特殊尺寸硅片 · XRD无衍射峰硅片 · 硅棒 · 进口抛光硅片 |
|
| |
|
|
· 氮化硅片 · 氧化硅片 · 金属镀膜片 |
|
| |
|
|
· AZ全系列 · SU-8系列 · 日本光刻胶 · DOW光刻胶 · 国产正胶及负胶 · 其它光刻胶 · 道康宁PDMS · 显影、去胶、腐蚀液等试剂 |
|
| |
|
|
· SOI · GOI · SOS |
|
| |
|
|
· GaAs · Ge · SiC · GaN · InP · GaP · GaSb · 多层膜外延衬底 |
|
| |
|
|
· 蓝宝石 · 单晶石英晶体 · 石英玻璃及制品 · 康宁肖特K9玻璃 · ITO、FTO、AZO导电玻 · 陶瓷片 |
|
| |
|
|
· 石墨烯 · 氧化石墨烯、碳纳米管 · 纳米粉末 · 各种晶体材料 · 纳米导电银浆 · 靶材真空耗材 |
|
| |
|
|
· 电镜镊子 · 铜网碳膜 · 导电胶带 · 云母片 · 样品台 · 实验室耗材 |
|
| |
|
|
· 包装材料 · 单片盒 · 立式插槽盒（25片卡塞盒） · 圆形晶园盒 · 吸附盒 · 弹性膜盒 · 真空释放盒 · 托盘盒 · 收纳盒 · 清洗花篮 |
|
| |
|
|
· 匀胶机 · 烤胶机 · 滴胶机 · 管式炉 · 光刻机 紫外灯 · 烘箱 · 加热台 · 手套箱 · 超声清洗机 · 离心机 · 蒸发仪 · 溅射台 · 切割划片机 · 真空泵 · 吸盘 |
|
| |
|
|
· 芯片、器件 |
|
| |
|
|
· 掩膜板定制服务 · 激光加工打孔 · Mems加工 传感器 · 光刻 · 氧化 · 切割 贴膜 · 镀膜 · 掺杂扩散 · 键合外延 · 电镀技术 · TSV技术 · 封装工艺 · 湿法腐蚀工艺 · PDMS技术 |
|
销售客服电话：0512-88981563
Tel/Fax：0512-88981563
业务手机1：13616276819
QQ: 2219359174
QQ: 549898941
销售邮箱：szjingxidz@163.com
网址：www.szjxtech.com
地址：4008云顶集团
SOI绝缘体上硅/GOI/SOS
进口4-8英寸，Simox、bonding、smart cut、BESOI等SOI晶圆片；
公司可为客户提供法国Soitec、日本信越半导体（SHE）、美国SunEdison、英国ICMOS、芬兰Okmetic等不同厂家的 100mm, 125mm, 150mm以及200mmSOI晶圆片。产品系列包括Smart cut、bonding，SIMOX 晶圆等，并可提供用户需求的各种顶层硅厚度。公司还向用户提供顶层硅小于50nm的超薄SOI晶圆系列和用于RF系统集成用的高阻SOI晶圆片。
顶层硅的厚度可根据应用的不同而变化。公司可提供SOI晶圆片的顶层硅最薄可达10纳米，最厚可至几十微米或更多。更厚的顶层硅对光通讯及MEMS器件尤其重要。
SOI/GOI (Ge on insulator )/SOS ( Silicon-on-Sapphire)
产品名称：进口Al2O3+Si薄膜 （SOS）
|
Si晶向： |
|
|
Si掺杂类型： |
本征；不掺杂 |
|
Si厚度： |
0.6 um +/- 0.05 um |
|
Si电阻率： |
> 100 ohm.cm |
|
Micro-particle density (for particles > 2 um)： |
< 2/cm^2 |
|
Al2O3基片： |
R plane with single flat |
|
Al2O3边取： |
One flat 32.5mm +/-2.5mm, at 45+/- 1 deg CCW fromon |
|
Al2O3尺寸： |
dia100 x 0.46 mm |
|
TTV: |
< 15 um |
|
Bow: |
< 20 um |
|
Warp: |
< 20 um |
|
Flatness （TIR) |
< 12 um |
|
抛光情况： |
单抛(正面外延抛光，背面光学级抛光，背面激光有激光标记） |
|
备注： |
可按照客户要求在C plane Al2O3上镀Si |